首台国产商业电子束光刻机在杭州正式推出

近日，首台商业式推浙江大学成果转化基地在杭州城西科创大走廊传来好消息：国内首款商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试阶段，国产光刻其精度达到了国际先进水平，电束标志着中国在量子芯片研发中拥有了自主技术。机杭

在测试现场，州正浙大余杭量子研究院团队正忙于应用测试，首台商业式推设备外形类似大型钢柜，国产光刻电子屏幕上显示出实时参数。电束团队负责人表示：“这不仅仅是机杭机器，而是州正一把可以在微米级别上雕刻出复杂图案的‘纳米笔’！”研发的首台商业式推100kV电子束光刻机“羲之”已经成功推向市场。

“羲之”这个名字灵感来源于书法家王羲之，国产光刻代表着设备用电子束在芯片上刻画电路的电束能力。团队负责人指出，机杭该设备专注于量子芯片和新型半导体的州正研发，其精度达到0.6nm，线宽8nm，可以灵活修改设计，无需掩膜版，非常适合芯片研发中的调试阶段。

过去，由于国际出口管制，国内顶尖科研机构如中国科学技术大学和之江实验室无法采购此类设备。而“羲之”的推出预计将突破这一限制。目前，其定价低于国际市场水平，并已与多家企业及科研机构开展了合作洽谈。

“羲之”的成功体现了科技与产业的深度融合。今年7月，浙江大学在余杭区的校友企业总部经济园启动了教育科技人才一体化改革试点，双方共同建立了高效的成果转化机制：企业提出技术需求，浙大教授携研究生组队攻关，整个过程从实验室到量产得以全程跟踪。

在城西科创大走廊，这种合作模式已成为常态。院士工作站与企业无缝对接，推动技术需求与研究成果的快速匹配。未来，城西科创大走廊将继续加大对科技创新的支持，促进科技成果转化为实际生产力。

本文转载自杭州日报，XM外汇官网编辑：陈雯芳。

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